金屬制造
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解決方案
金屬制造
方案描述
濺射靶材的制備技術方法按生產工藝可分為熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類。在靶材制備過程中，除嚴格控制材料純度、致密度、晶粒度以及結晶取向之外，對熱處理工藝條件、后續成型加工過程也需加以嚴格控制，以保證靶材的質量。
熔融鑄造法是將一定成分配比的合金原料熔煉, 再將合金熔液澆注于模具中, 形成鑄錠, 最后經機械加工制成靶材。鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等。其優點是靶材雜質含量(特別是氣體雜質含量) 低, 密度高, 可大型化等;缺點是需要后續加工和熱處理工藝降低其孔隙率，以及對熔點和密度相差較大的多種金屬合金靶材、難容金屬靶材、無機非金屬靶材、復合金屬靶材，普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材。
粉末冶金法是將一定成分配比的合金原料熔煉, 澆注成鑄錠后再粉碎, 將粉碎形成的粉末經等靜壓成形, 再高溫燒結, 最終形成靶材。常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。粉末冶金法的優點是靶材成分均勻，節約原材料，生產效率高等;缺點是密度低, 雜質含量高等。粉末冶金法制備靶材時, 其關鍵在于:(1)選擇高純、超細粉末作為原料;(2)選擇能實現快速致密化的成形燒結技術, 以保證靶材的低孔隙率, 并控制晶粒度;(3) 制備過程嚴格控制雜質元素的引入。
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